Verfahren A

1. Bringen Sie die Lösung mit einer Pipette sparsam auf die zu reinigenden Stellen des Wafers auf.
2. Warten Sie bis der DieMark® Ink Remover 8000 die Tintentropfen gelöst hat (durchschnittliche Dauer: 2 - 3 Minuten). Der exakte Zeitraum bis zur Lösung der Tinte hängt von der Aushärtezeit und/oder Aushärtetemperatur ab.
3. Bei stark behandelten oder im Ofen gehärteten Tintenpunkten lassen Sie den Tintenentferner länger einwirken und wischen vorsichtig mit einem sauberen, fusselfreien Tuch nach. Falls nötig, wiederholen Sie diese Schritte.
4. Um einen großen Bereich oder den gesamten Wafer von der Tinte zu befreien, tränken Sie das fusselfreie Tuch mit dem DieMark® Ink Remover 8000 und bedecken damit die Wafer-Oberfläche. Warten Sie, bis der Tintenentferner die Tinte gelöst hat. Wischen Sie nach.
5. Reinigen Sie die Wafer-Oberfläche nach Entfernung der gewünschten Tintenpunkte mit Standardverfahren wie der Dampfentfettung und /oder behandeln Sie den Wafer mit einem Lösungsmittel (Isopropanol). Zur Entfernung von Lösungsmittelresten wird ein Waschvorgang mit entionisiertem Wasser empfohlen. Organische Rückstände, die durch die Lösungsmittelbehandlung zurückbleiben, können mit einem zusätzlichen Trocknungsschritt bei angemessener Temperatur entfernt werden.

Verfahren B (Befolgen Sie diese Schritte, wenn eine vollständige Entfernung aller Rückstände erforderlich ist.)

1. Ultraschallbad mit dem DieMark® Ink Remover 8000
2. Den Wafer 1 - 5 Minuten waschen.
3. Ultraschallbad mit Aceton für 2 Minuten.
4. Mit entionisiertem Wasser abwaschen.
5. Mit Isopropanol abwaschen.
6. Überprüfen Sie das Ergebnis bei 30 bis 40-facher Vergrößerung. Wenn noch Rückstände vorhanden sind, wiederholen Sie den Vorgang und verkürzen das Lösungsmittelbad (1 - 2 Minuten).
7. Lassen Sie den Wafer an der Luft trocknen.

Hinweis: Zur Entfernung aller Rückstände auf dem Wafer müssen Sie möglicherweise mit einem fusselfreien Tuch nachwischen.

Methylethylketon (MEK) oder N-Methyl-2-Pyrrolidon (M-Pyrrol). Befolgen Sie diese Schritte:

1. Ultraschallbad mit warmem Lösungsmittel (40 - 50° C).
2. Den Wafer 1 - 5 Minuten waschen.
3. Ultraschallbad mit Aceton für 2 Minuten.
4. Mit entionisiertem Wasser abwaschen.
5. Mit Isopropanol abwaschen.
6. Überprüfen Sie das Ergebnis bei 30 bis 40-facher Vergrößerung. Wenn noch Rückstände vorhanden sind, wiederholen Sie den Vorgang und verkürzen das Lösungsmittelbad (1 - 2 Minuten).
7. Lassen Sie den Wafer an der Luft trocknen.

1. Ultraschallbad mit warmen Lösungsmittel (40 - 50° C).
2. Den Wafer 30 - 60 Sekunden waschen.
3. Mit entionisiertem Wasser abwaschen.
4. Mit Isopropanol abwaschen.
5. Lassen Sie den Wafer an der Luft trocknen.

1. Das optimale Resultat erhalten Sie bei voller Anwendungsstärke.
2. Tragen Sie die Lösung vorsichtig mit einer Pipette an den zu reinigenden Stellen auf.
3. Lassen Sie Aptek® 6515 einwirken, bis die Tintentropfen gelöst sind (2 - 3 Minuten). Die tatsächlich für die Auflösung benötigte Zeit hängt von der Dauer und Temperatur der Aushärtung des Epoxids ab.
4. Bei stark ausgehärteten Tintenpunkten lassen Sie das Lösungsmittel länger einwirken und wischen vorsichtig mit einem sauberen, fusselfreien Tuch nach. Wiederholen Sie, falls nötig, die Schritte 2, 3 und 4.
5. Für die Behandlung großer Flächen oder die Reinigung der gesamten Wafer-Oberfläche tränken Sie ein sauberes, fusselfreies Tuch mit Aptek und bedecken damit den Wafer. Lassen Sie das Lösungsmittel einwirken. Entfernen Sie das Tuch und wischen Sie die Oberfläche trocken.
6. Nach Entfernung der Tintenpunkte setzen Sie die Reinigung der Wafer-Oberfläche mit Standardverfahren wie der Dampfentfettung fort und/oder waschen den Wafer mit einem Lösungsmittel (Isopropanol) ab. Anschließend trocknen Sie den Wafer bei 65° C.