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Xandex プローブ ブロック アセンブリ
は、Xandex
スプリング プローブ伝送線を高密度のスプリング プローブ アレイに組み込みます。各モジュールは、個々の特性要件に応じてそれぞれ
2、3、または
4
本の接地ピンでアイソレーションされた、複数の信号
(I/O)
スプリング プローブ チャネルから構成されます。
1
つのプローブ ブロック モジュールに
1
つまたは複数の検査サイトを配列できます。ユーティリティ チャネルと電力チャネルは、同じモジュール内の信号プローブに組み込むことも、個別の電力/ユーティリティ モジュールを使用して
"連動させる"
こともできます。
モジュールは、一般的なウエハ プローブ インターフェイス構造を収容する円形タワー、または最終検査に適した正方形のグリッドに収納できます。この拡張性のあるモジュール構造により、プローブ モジュールを追加または除去して、機器タイプおよびテスターの能力に合わせて検査のスループットを調整することができます。
プローブ間隔
Xandex スプリング プローブ/ソケットの設計は、信号間のチャネル間隔が 2.5mm、接地間隔が 1.8 mm です。
スプリング プローブ ピンは、複数のチップ構成で使用できます。
真空機能
Xandex スプリング プローブ ブロックおよび伝送線に真空機能が組み込まれており、真空を使用して大量のスプリング プローブを圧縮するなど、高い平行度が必要な状況での使用が可能です。
電気特性
Xandex 伝送線とプローブ ブロックの電気特性範囲は、バックプレーン / プローブ エレクトロニクス コネクタに大きく影響されます。
Xandex ブロックの帯域幅範囲は、使用するコネクタに応じて、-3 dB で 3 ~ 10 GHz です。信号-信号のプローブ間隔は、標準で 2.5 mm です (+3
Σ の反射減衰量 (VSWR) で -10 dB @ 2.8 GHz および -10 dB @ 8.8 GHz の場合)。* RF 容量も、-1 dB で最大 18 GHz、および +3
Σ の反射減衰量 (VSWR) で -13 dB @ 20 GHz になります。
コネクタの特定の組み合わせと使用した場合の Xandex スプリング プローブ / ソケットの特性仕様については、「伝送線仕様」のセクションを参照してください。
*デジタル仕様は、Xandex スプリング プローブおよびソケットを使用した 25cm 長の 26 ゲージ ケーブルを使用した場合のものです。 |